PT230 Piezo-Scannerrohre

Hochdynamischer Betrieb mit geringen Lasten

Laterale und axiale Bewegung
Sub-nm-Auflösung
Ideal für OEM-Anwendungen
Flexibel durch zahlreiche Ausführungsvarianten
UHV-kompatibel bis 10^-9 hPa

PT-Tube Piezorohre, Abmessungen in mm. Länge L, Außendurchmesser OD und Innendurchmesser ID siehe Datentabelle.

Sonderversionen der Piezo-Scannerrohre mit mehrfach segmentierten äußeren Elektroden und Umkontakten

Piezoaktor / Scannerrohr

Betriebsspannung bipolar bis ±250 V. Vierfach segmentierte Elektroden für axiale und XY-Auslenkung. Monolithischer piezokeramischer Aktor mit minimalen geometrischen Toleranzen. UHV-kompatibel bis 10^-9 hPa. Kurze Lieferzeiten.

Sonderausführungen mit geänderten Spezifikationen

Materialien
Spannungsbereich, Auslenkung
Toleranzen
Applizierte Sensoren
Erweiterter Temperaturbereich
Segmentierung der Elektroden, Umkontakte, umlaufende Isolierstege
Nichtmagnetisch

Mögliche Abmessungen

Länge L max. 70 mm
Außendurchmesser OD 2 bis 80 mm
Innendurchmesser ID 0,8 bis 74 mm
Min. Wanddicke 0,30 mm

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung, UHV-Umgebung bis 10^-9 hPa. Für Mikrodosierung, Mikromanipulation, Scanning-Mikroskopie (AFM, STM, etc.), Faserstrecker.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-13

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Version / Datum

2023-12-13

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Bewegen	PT230.14	PT230.24	PT230.94	Toleranz
Max. axiale Auslenkung	± 4,5 µm	± 4,5 µm	± 4,5 µm
Max. XY-Auslenkung	± 16 µm	± 10 µm	± 35 µm
Antriebseigenschaften	PT230.14	PT230.24	PT230.94	Toleranz
Aktortyp	Piezo-Scannerrohr	Piezo-Scannerrohr	Piezo-Scannerrohr
Betriebsspannung	±250 V	±250 V	±250 V
Anzahl Verstärkerkanäle	4	4	4
Elektrische Kapazität pro Verstärkerkanal	4,5 nF	6,9 nF	2,1 nF	±20 %
Mechanische Eigenschaften	PT230.14	PT230.24	PT230.94	Toleranz
Querschnitt	ringförmig	ringförmig	ringförmig
Piezomaterial	PIC255	PIC255	PIC255
Länge	30 mm	30 mm	30 mm	±0,2 mm
Außendurchmesser	6,35 mm	10 mm	3,2 mm	±0,05 mm
Innendurchmesser	5,35 mm	9 mm	2,2 mm	±0,05 mm
Anschlüsse und Umgebung	PT230.14	PT230.24	PT230.94	Toleranz
Vakuumklasse	10⁻⁹ hPa	10⁻⁹ hPa	10⁻⁹ hPa
Empfohlene Controller / Treiber	E-413.2 - E-413.6	E-413.2 - E-413.6	E-413.2 - E-413.6

Maximale Auslenkung: Bei Ansteuerung mit +250 V / -250 V an gegenüberliegenden Elektroden.

Elektrische Kapazität: Gemessen bei 1 V_pp, 1 kHz, RT.

Piezokeramik: Ausheizbar im kurzgeschlossenen Zustand bis 150 °C.

Innenelektrode: GND. Außenelektroden: Dünnfilm (CuNi, Au); innen: eingebrannte Silberelektroden.

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Datenblatt

Version / Datum

2023-12-13

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2023-12-13

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Dokumentation

Handhabung und elektrische Kontaktierung von Piezokomponenten

Version / Datum

2019-02-12

pdf - 718 KB

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2019-02-12

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Angebot / Bestellung

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PT230.14

Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 6,35 mm × ID 5,35 mm; ±16 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa

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PT230.24

Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 10 mm × ID 9 mm; ±10 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa

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PT230.94

Piezo-Scannerrohr; piezoaktorischer Antrieb; L 30 mm × OD 3,2 mm × ID 2,2 mm; ±35 µm XY-Auslenkung; ±4,5 µm axiale Auslenkung; vakuumkompatibel bis 10⁻⁹ hPa

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