Piezoelektrische-Nanostellsysteme................................................................................. 1
Überblick: Piezoelektrische-Nanostellsysteme ......................................................... 2
P-752.1C, P-752.21C Mini-Piezotisch............................ 9
P-753 LISA Piezotisch /Piezoaktor ........................................................ 10
P-750 Piezotisch................................................................. 11
P-720/P-721 PIFOCâ Mikroskopobjektiv-Nanostellsysteme........................................ 4
P-722/P-723 PIFOCâ Mikroskopobjektiv-Nanostellsysteme........................................ 6
P-780 Miniatur-Piezo-Tisch..................................................... 8
P-730, P-731 XY-Piezotisch............................................... 12
P-770 XY-Piezo-NanoPositioniersystem mit grosser Apertur................................................ 13
P-500 Mehrachsen-Piezotisch............................................ 14
P-762 Piezotische............................................ 15
P-280.xx Piezotisch............................................................ 17
P-281, P-282 XY- und XYZ-Piezotisch................................ 18
P-287 Piezoelektrisches Vertikal- und Kipp-NanoPositioniersystem.................................... 19
P-290.00 Piezoelektrischer Makro-Translator....................................................................... 20
Hinweise (Technische Daten)............................................................................................... 21
© 1998--Physik
Instrumente (PI) GmbH& Co
Piezo-Nanostellsysteme von PI bieten eine weit höhere Genauigkeit, als sich mit klassischen mechanischen Stellelementen erreichen lässt.
Sie sind Stellelementen mit konventionellen Führungssystemen (Kugellagern, Kreuzrollenlagern etc.) in Auflösung, Genauigkeit und Führungsgenauigkeit bei weitem überlegen. Auf Grund der prinzipbedingten Reibung sind diese Stellelemente in ihren Anwendungen limitiert. Die Reibungsfreien Piezo-Nanostellsysteme von PI ermögichen Auflösungen und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich und darunter.
Unser weltweit grösstes Angebot an Ein- und Mehrachsen-Piezosystemen für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen umfasst, neben den in diesem Katalog vorgestellten Baureihen, auch Sonderanfertigungen nach den Wünschen unserer Kunden.
Anwendungsbeispiele von PI-Piezo-Nanostellsystemen:
· Metrologie
· Disk-Testsysteme
· Schreib- / Lesekopf-Testsysteme
· Spin-Stands
· NanoPositionierung
· Halbleiter-Testsysteme
· Mikrolithographie
· Wafer-Stepper
· Maskenpositionierung
· Präzisionsmechanik (z.B. Unrunddrehen, -bohren, -fräsen)
· Scanning-Interferometrie
· Oberflächenstrukturanalyse
· Scanning-Mikroskopie
· Autofokus-Systeme
· Bio-Technologie
· ...
Weitere Informationen zu Piezo-Nanostellsystemen und zur Funktion und Theorie von Piezo-Stelltechnik entnehmen Sie bitte dem Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".
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Instrumente (PI) GmbH& Co
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· Zum XY-Positionieren und -Scannen
P-770 ist ein hochpräzises monolithisches XY-Positionier- und Scansystem, das einen Stellbereich von 200 x 200 µm mit einer Auflösung von besser als 50 nm bietet. In Verbindung mit dem 200 x 200 mm grossen Durchgang ist das System ideal für Durchlichtanwendungen in der Halbleitertechnik.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, NanoPositionierung, Halbleiter-Testsysteme, Präzisionsmasken- und Wafer-Positionierung, Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse.
Funktionsprinzip: P-770 Positionierer sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte Nanomessysteme - LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Sensoren sorgen für hohe Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-770.00 XY-Piezo-NanoPositioniersystem, 200 x 200 µm, LVDT-SensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P770 P-770 NanoPositioniersystem Abbildung P770 P-770 Piezostelltisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
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· Integriertes Präzisionsführungssystem
Nanostellsysteme der Serie P-500 sind hochauflösende, piezoelektrisch angetriebene Mehrachsen-Systeme zum Positionieren und Scannen. Linearstellbereiche von bis zu 200 x 200 x 10 µm und Rotationsbereiche bis zu ± 2 mrad sind verfügbar. Der 66 x 66 mm grosse Durchgang ist ideal für Durchlichtanwendungen wie z.B. Nahfeld-Mikroskopie, konfokale Mikroskopie oder Maskenpositionierung. Der geringe Preis und die Vielseitigkeit der P-500 Serie basiert auf ihrem einzigartigen modularen Konzept.
Die extreme Führungsgenauigkeit der Version P-527.6C (gesonderte Information anfordern) wird durch eine integrierte aktive Sechs-Achsen-Fehlerkompensation erreicht, die selbst geringste Führungsfehler erkennt und bis in den Sub-nm- und Sub-µrad-Bereich eliminiert.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, Mikrolithographie , NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Disk-Drive-Testsysteme, Optik, Lasertechnik, Mikrobearbeitung.
Funktionsprinzip: P-500 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte kapazitive Nanomess-Systeme sorgen für Sub-Nanometerauflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-517.2CL XY-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 100 x 100 µm, Kap. Sensor, LEMO-Stecker P-517.2CD XY-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 100 x 100 µm, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker P-517.3CL XYZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 100 x 100 x 10 µm, Kap. Sensor, LEMO-Stecker P-517.3CD XYZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 100 x 100 x 10 µm, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker P-517.RCD XYqZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 100 x 100 x ±1 mrad, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker P-527.2CL XY-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 200 x 200 µm, Kap. Sensor, LEMO-Stecker P-527.2CD XY-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 200 x 200 µm, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker P-527.3CL XYZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 200 x 200 x 10 µm, Kap. Sensor, LEMO-Stecker P-527.3CD XYZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 200 x 200 x 10 µm, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker P-527.RCD XYqZ-Piezoelektrischer Nanopositioniertisch, 200 x 200 x ±2 mrad, Kap. Sensor, D-Sub-Stecker
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P527 P-527.2CL NanoPositioniersystem Abbildung P527 P-517, P-527 Piezostelltisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
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· Neuartige Konstruktion: Stelltisch und Aktor
LISA (Linear Stage Actuator) Nanostellsystemesind kompakte Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 38 µm, extrem schnelles Einschwingverhalten und höchste Führungsgenauigkeit bieten. LISA Systeme kombinieren die kompakten Abmessungen eines Piezo-Stapeltranslators mit den Präzisionsführungseigenschaften eines Tisches mit Festkörpergelenken. Sie können deshalb als Linear-Aktoren und als Präzisionsstelltische eingesetzt werden. P-753 Systeme sind mit kapazitive Nanomess-Systemen ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Das aufwendige Design zur Minimierung der bewegten Massen bewirkt eine signifikante Reduktion der Momente auf die tragende Struktur und verbessert dadurch Einschwingverhalten und Stabilität des Gesamtsystemes, was bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung ermöglicht.
Anwendungsbeispiele: Disk-Drive-Testsysteme, Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren etc.
Funktionsprinzip: P-753 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Der integrierte kapazitive Sensor sorgt für Sub-Nanometerauflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-753.11C LISA Piezotisch, 12 µm, Kapazitivsensor P-753.21C LISA Piezotisch, 25 µm, Kapazitivsensor P-753.31C LISA Piezotisch, 38 µm, KapazitivsensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P753-11C P-753 LISA NanoPositioniersystem Abbildung P753-11C P-753.11C Piezotisch Abmessungen Abbildung P753-21C P-753.21C Piezotisch Abmessungen Abbildung P753-31C P-753.31C Piezotisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
· Feinpositionierung des Objektivs mit Sub-nm-Auflösung
· Stellwege bis 100 µm
· Führungsgenauigkeit £ 30 µrad
· Schnelles Einschwingverhalten
P-720 und P-721 PIFOC Ò Nanostellsystemesind schnelle und kompakte Stelleinheiten, die sich an die meisten Mikroskope anbauen lassen. Dazu werden sie zwischen Revolver und Objektiv geschraubt und bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 100 µm mit Sub-Nanometer Auflösung (längere Stellwege siehe Modelle P-722 u. P-723, Seite 6). Der optische Strahlengang wird dadurch um nur 13 mm verlängert (zur Anpassung des Strahlengangs der anderen Objektive am Revolver sind Distanzsstücke verfügbar). PIFOCs Ò werden mit den Standardgewinden W0,8x1/36" ausgeliefert, andere Gewinde sind auf Wunsch lieferbar.
Die Modelle P-720.00 / P-721.00 sind für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen, z.B. für Tracking-Anwendungen, bei denen die Position von der Information eines externen Sensors bestimmt wird (z.B. optischer Wegsensor, CCD Kamera etc.). Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollten die Versionen P-721.10 oder P-721.20 mit integrierten hochauflösenden Positionssensoren (LVDT oder kapazitiv) eingesetzt werden.
Abbildung P720-1 P-720 und P-721.10 Objektiv-NanoPositioniersystem Abbildung P720micro P-720.00 an einem Mikroskop-Revolver Abbildung P720 P-720.00 Abmessungen Abbildung P721-10 P-721.00, P-721.10 Abmessungen Abbildung P721-20 P-721.20 Abmessungen
Anwendungsbeispiele: Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Disk-Drive-Testsysteme, Autofokus-Systeme, konfokale Mikroskopie, Bio-Technologie, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: PIFOC Ò Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und bieten höchste Auflösung und Führungsgenauigkeit.
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Sonderausführungen erhältlich!
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· Feinpositionierung des Objektivs mit nm-Auflösung
P-722 und P-723 PIFOC Ò Nanostellsystemesind schnelle und kompakte Stelleinheiten, die sich an die meisten Mikroskope anbauen lassen. Dazu werden sie zwischen Revolver und Objektiv geschraubt und bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 350 µm mit Nanometerauflösung (kleinere Stellwege siehe Modelle P-720 u. P-721, Seite 4). Der optische Strahlengang wird dadurch um nur 13 mm verlängert (zur Anpassung des Strahlengangs der anderen Objektive am Revolver sind Distanzsstücke verfügbar). PIFOCs Ò werden mit den Standardgewinden W0,8x1/36" ausgeliefert, andere Gewinde sind auf Wunsch lieferbar.
Die Modelle P-722.00 / P-723.00 sind für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen, z.B. für Tracking-Anwendungen, bei denen die Position von der Information eines externen Sensors bestimmt wird (z.B. optischer Wegsensor, CCD Kamera etc.). Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollten die Versionen mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Positionssensoren eingesetzt werden.
Abbildung P722 P-722 Objektiv-NanoPositioniersystem Abbildung P722-3 P-722, P-723 AbmessungenAnwendungsbeispiele: Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Disk-Drive-Testsysteme, Autofokus-Systeme, konfokale Mikroskopie, Bio-Technologie, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: PIFOC Ò Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und bieten höchste Auflösung und Führungsgenauigkeit.
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".Sonderausführungen erhältlich!
P-780 Piezo-Nanostellsysteme sind kompakte und schnelle Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von 80 µm mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden bieten. Sie wurden besonders für Anwendungen mit kleinen Massen (< 100 g) entwickelt. P-780.00 ist für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollte die Version P-780.20 mit integriertem hochauflösenden LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Positionssensor eingesetzt werden.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Disk-Drive-Testsysteme, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren.
Funktionsprinzip: P-780 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Ein integrierter LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Sensor sorgt für Nanometerauflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-780.00 Mini Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 80 µm P-780.20 Mini- Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 80 µm, LVDT-SensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P780 P-780 NanoPositioniersystem Abbildung P780 P-780 Piezotisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
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· Ideal für Disk-Drive-Testsysteme
P-752 Piezo-Nanostellsysteme sind kompakte und schnelle Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 30 µm, extrem schnelles Einschwingverhalten und höchste Führungsgenauigkeit bieten. Sie wurden speziell für Disk-Drive-Testsysteme entwickelt (optimaler Betrieb bei Massen mit wenigen 100 g) und sind mit kapazitiven Positionssensoren ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Das aufwendige Design zur Minimierung der bewegten Massen bewirkt eine signifikante Reduktion der Momente auf die tragende Struktur und verbessert dadurch Einschwingverhalten und Stabilität des Gesamtsystems, was bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung ermöglicht. Bei Betrieb mit dem NanoAutomation-Controller E-612 (Kapitel "Piezoelektronik" ) schwingt ein mit 300 g Masse bestückter P-752.1C in weniger als 17 ms auf 2 nm ein.
Anwendungsbeispiele: Disk-Drive-Testsysteme, Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren.
Funktionsprinzip: P-752 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Der integrierte kapazitive Sensor sorgt für Sub-Nanometerauflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-752.1C Mini Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 15 µm, Kapazitivsensor P-752.21C Mini Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 30 µm, KapazitivsensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung xx,P752-1C P-752.1C NanoPositioniersystem Abbildung P752-1C P-752.1C Piezostelltisch Abmessungen Abbildung P752-21C P-752.21C Piezostelltisch AbmessungenAbbildung P752-res P-752.1C Ansprechverhalten eines P-752.1C bei Rechteckansteuerung mit 3 nm Amplitude. Die Sub-nm-Auflösung, Stabilität und bidirektionale Wiederholbarkeit sind deutlich zu sehen. (Steuerelektronik: E-501.00, E-503.00, E-509.C1; Servoreglereinstellung: 240 Hz Bandbreite, 2 ms Einschwingzeit)
Abbildung P752-tilt Die typische bidirektionale Führungsgenauigkeit von 1 µrad ermöglicht bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung, weil hochpräzise Prozesse in beiden Stellrichtungen durchgeführt werden können.
Sonderausführungen erhältlich!
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· 1 nm Führungsgenauigkeit
P-750 Piezo-Nanostellsysteme sind für einachsige Stellbewegungen mit höchster Führungsgenauigkeit ausgelegt. Sie bieten einen Positionier- und Scanbereich von 75 µm mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden. P-750.00 ist für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. Die Versionen P-750.10 und P-750.20 sind mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) bzw. kapazitive Nanomess-Systemen ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, Disk-Drive-Testsysteme, Wafer-Stepper, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: P-750 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte Sensoren (LVDT oder kapazitiv) sorgen für höchste Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-750.00 Piezoelektrischer Präzisions Nanopositioniertisch, 75 µm P-750.10 Piezoelektrischer Präzisions Nanopositioniertisch, 75 µm, LVDT-Sensor P-750.20 Piezoelektrischer Präzisions Nanopositioniertisch, 75 µm, KapazitivsensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P750 P-750.10 NanoPositioniersystemAbbildung P750-10 P-750 Piezostelltisch Abmessungen
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· Zum XY-Positionieren und -Scannen
· Auflösung < 1 nm
Versionen mit der Endnummer .10 und .20 sind mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) und kapazitive Nanomess-Systemen ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Der 50 x 50 mm grosse Durchgang der Systeme ist ideal für Durchlichtanwendungen wie z.B. Nahfeld-Mikroskopie, konfokale Mikroskopie oder Maskenpositionierung.
Anwendungsbeispiele: Scanning-Mikroskopie, Halbleiter-Testsysteme, Präzisionsmasken- und Wafer-Positionierung, Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren,
Funktionsprinzip: P-730 und P-731 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte Sensoren (LVDT oder kapazitiv) sorgen für hervorragende Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezoelektronik).
Bestellinformation: P-730.00 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 50 x 50 µm P-730.10 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 50 x 50 µm, LVDT-Sensor P-730.20 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 50 x 50 µm, Kapazitivsensor P-731.00 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 100 x 100 µm P-731.10 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 100 x 100 µm, LVDT-Sensor P-731.20 Präzisions-XY-Piezostelltisch, 100 x 100 µm, KapazitivsensorHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektronik".
Abbildung P730-1 P-731.20 NanoPositioniersystem Abbildung P730-1 P-730, P-731 Piezostelltisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
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· 1-, 2-, 3- und 5-Achsenausführungen
Nanostellsysteme der Serie P-762 sind kompakte, piezoelektrisch angetriebene Einheiten zum Positionieren und Scannen. Die folgenden Versionen sind verfügbar: X, Z, XY, XYZ, ZQXQY und XYZQXQY.
Alle Versionen, bis auf die Z- und XYZ-Versionen, haben einen 20 x 20 mm grossen Durchgang. Das XY-Modell besteht aus einem X-Modul und einem leicht modifizierten Y-Modul. Das Z-Modul ist mit 3 elektrisch parallel betriebenen Piezostapeln ausgerüstet, die in einem Dreieck angeordnet sind. Alle drei Stapel sind auf möglichst gleiche Auslenkung hin ausgesucht. Ein Positionssensor im Zentrum des Dreiecks sorgt für optimale Stabilität. Das ZQXQY-Modul erlaubt die individuelle Kontrolle jedes einzelnen Piezos, wobei die Auslenkung von drei Sensoren gemessen wird. Zur Berechnung der Kippwinkel siehe Zeichnung xx.
Die XYZ-Version besteht aus einem Z-Modul, das auf einem XY-Modul montiert ist. Die XYZQXQY-Version besteht aus einem ZQY- NanoPositioniersystem
Abbildung P762-1L P-762.1L Abmessungen (innerer Rahmen bewegt sich)
Abbildung P762-2L P-762.2L Abmessungen (äusserer Rahmen bewegt sich)
Abbildung P762-ZL P-762.ZL Abmessungen
Abbildung P762-TL P-762.TL Abmessungen
Abbildung P762TZ5PZT Piezo-Positionen im P-762.TL, P-762.5L, P-762.ZL, P-762.3L (.ZL und .3L ohne 20 x 20 Durchgang, ein gemeinsames Spannungskabel)
Abbildung P762-T5sen Sensor-Positionen im P-762.TL, P-762.5L
Abbildung P762-3L P-762.3L Abmessungen
Abbildung P762-5L P-762.5L Piezostelltisch Abmessungen
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· Kompakte Bauweise
P-280 Nanostellsysteme sind kompakte und preisgünstige Einheiten, die mit einem Positionier- und Scanbereich von 30, 50 und 100 µm verfügbar sind. Zur optimalen Anpassung an die jeweiligen Anforderungen können die Systeme vertikal und horizontal montiert werden.
Anwendungsbeispiele: NanoPositionierung, biomedizinische Anwendungen, Patch-Clamp, Faserpositionierung.
Funktionsprinzip: P-280 Positionierer sind mit Hochvolt-Piezo-Kontraktoren ausgerüstet (0 bis -1000 V), die in ein Parallelogramm-Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Auflösung.
P-280 Positionierer können zu XY-und XYZ-Systemen kombiniert werden (s. Seite 18). Die Kabelausgangspositionen können zur optimalen Anpassung an die jeweilige Anwendung bei der Bestellung spezifiziert werden (A, B oder C wie in Zeichnung xx dargestellt). Falls nicht anders angegeben, wird Kabelposition A ausgeliefert. Eine Distanzplatte zur Montage ist im Lieferumfang enthalten.
Bestellinformation: P-280.10 Piezo-Nano-Lineartisch, 30 µm P-280.20 Piezo-Nano-Lineartisch, 50 µm P-280.30 Piezo-Nano-Lineartisch, 100 µmHochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektrische Controller / Verstärker".
Abbildung P280 P-280 NanoPositioniersystem Abbildung P280 P-280 Piezostelltisch AbmessungenSonderausführungen erhältlich!
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· Preisgünstige XZ- (XY) u. XYZ-Positionierer
P-281.xx und P-282.xx sind Zwei- und Dreiachsen-Nanostellsysteme, die auf Kombinationen von P-280.xx Systemen basieren (siehe Abbildung xx). P-281.xx und P-282.xx sind in drei verschiedenen Grössen mit Stellwegen von 30, 50 und 100 µm verfügbar.
Die P-282 XYZ-Ausführungen können leicht zusammengesetzt werden. Dazu wird der unterste Positionierer (X) zuerst festgeschraubt, danach die Z-Achse und zuletzt die Y-Achse aufmontiert. Die P-281 Ausführungen können als XZ-(Abbildung xx) und XY-Kombinationen montiert werden.
Abbildung P281-20 P-281.20 XZ-NanoPositioniersystem Abbildung P282-xx P-282.30 (l), P-282.20 (m), P-282.30 XYZ (r)Abbildung xx P282Assy Zusammenbau von P-282.xx.
Optionen:
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite .
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektrische Controller / Verstärker".
Sonderausführungen erhältlich!
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· Vertikaler Stellweg bis 700 µm
P-287 ist ein hochauflösendes, piezoelektrisch angetriebenes Stellsystem. Es bietet einen Kippbereich von bis zu 12 mrad und einen vertikalen Stellweg von bis zu 700 µm (am gegenüberliegenden Ende des Drehgelenkes). Eine halbkugelförmige Senkung in der Stellplattform dient bei Anwendungen als Linearantrieb zur Entkopplung der Drehbewegung. In diesem Fall wird ein externes Führungssystem empfohlen (z.B. reibungsfreie Membranfeder).
Anwendungsbeispiele: Wafer-Inspektion, NanoPositionierung, Medizintechik, Bio-Technologie, Optik.
Funktionsprinzip: P-287 Positionierer sind mit einem Hochvolt-Piezoantrieb ausgerüstet (0 bis -1000 V), dessen Kraft ein reibungsfreies, drahterodiertes Drehgelenk bewegt. Die lineare Stellbewegung des Piezoantriebes bewirkt eine Rotation der Stellplattform und damit eine Vervielfachung des Stellweges.
Niedervoltausführungen des P-287 sind auf Anfrage verfügbar.
Bestellinformation: P-287.70 Vertikal- und Kipp-NanoPositioniersystem, 12 mrad, 700 µmOptionen (ab Werk):
P-703.20 UHV Option, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektrische Controller / Verstärker".
Abbildung P287 P-287.70 NanoPositioniersystemAbbildung P287 P-287.70 Piezostelltisch Abmessungen
Sonderausführungen erhältlich!
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· Stellweg 1000 µm
P-290 ist ein piezoelektrisch angetriebenes Positioniersystem mit einem Stellweg von 1000 µm. Es ist ideal für hochauflösende Stellanwendungen mit geringer Dynamik geeignet.
Anwendungsbeispiele: Wafer-Inspektion, NanoPositionierung, Medizintechik, Bio-Technologie, Optik.
Funktionsprinzip: Die Stellplattform des P-290 wird von einem piezoelektrischen Antrieb bewegt. Der Antrieb besteht aus zwei "gestapelten" Kipp-Positionierern mit Festkörpergelenken (ähnlich P-287), die aus einem Edelstahlblock herausgearbeitet sind. Jeder der beiden Kipp-Positionierer ist mit einem Hochvolt-Piezo-Translator ausgerüstet (0 bis -1000 V), der in ein reibungsfreies, drahterodiertes Hebelübersetzungssystem integriert ist. Zur besseren Geradführung wird die Stellplattform durch zwei Linearkugellager geführt.
Bestellinformation: P-290.00 Piezoelektrischer Makro-Translator, 1000 µmOptionen:
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite .
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezoelektrische Controller / Verstärker".
Abbildung P290 P-290 Makro-TranslatorAbbildung P290 P-290 Piezostelltisch Abmessungen
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