Integrierte Piezostellsysteme, Piezo-Nanopositioniersysteme, Piezotisch e
Übersicht Piezo-Nanopositioniersysteme
Katalog Nanostelltechnik, Mikrostelltechnik, Piezoaktorik, Präzisionsaktoren
ANWENDUNGSBEISPIELE:
Ein- und Mehrachsen-Präzisionspositionierungen, für die Halbleitertechnik, integrierte Optik, Maskenpositionierung, Mikrolithographie, AFM, SEM, Nahfeld Scanning-Mikroskopie, konfokale Mikroskopie.
- Drahterodierte spiel- und reibungsfreie Führungen.
- FEM (Finite Elemente Methode) computerberechnete Gelenke/Führungen für Sub-nm/Sub-Bogensekunden Führungsgenauigkeit.
- Stellbereich typisch 10 bis 200 um.
- Ein- und Mehrachsen-Systeme.
- Scanning-Mikroskopietische
- Monolithische X-Y Versteller mit freien Durchgangsbohrungen.
- Diskreter oder kontinuierlicher Betrieb, Einschwingzeit im ms Bereich.
- Optionale integrierte Wegsensoren für Closed Loop Betrieb und zur Kompensation von Nichtlinearitäten, z.B. kapazitive Wegsensoren mit <1 Nanometer Meßgenauigkeit.
- PIFOC Mikroskopobjektiv Nano-Positionierer.
- Elektronik (Verstärker, Positions-Servo-Controller, Computerschnittstellen), Software.
- OEM und Sonderentwicklungen.
