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Messtische
Kreuztische und XYZ Tische (motorisiert)
Hexapoden
(6-Achs-Tische)Präzisions Linearaktoren
(motorisiert und piezoelektrisch)Drehtische & Kipptische (Rotationstische)
Präzisions-Lineartische, Translationstische
Piezo-Kreuztische, Mehrachsentische
Piezo-Linearmotoren
Messtische, Hexapoden, Linearaktor, Lineartisch, Kreuztische, Präzisions Linear- und Drehtisch, Rotations-Mikropositioniersysteme
Messtische, Linearaktor, Hexapoden, Translationstische, Kreuztische, Präzisions Linear- und Drehtische, Rotations-Mikropositioniersysteme
M-850 Hexapod, Sechs-Achsen-Präzisions-Positionier-System
Übersicht Mikropositionierelemente, Messtische
Katalog Nanostelltechnik, Mikrostelltechnik, Piezoaktorik, Präzisionsaktoren ANWENDUNGSBEISPIELE:
Halbleiterfertigung, Laser & Elektro-Optik, Mikrobearbeitung, Mikromechanik.
- Hexapod: erstes kommerziell erhältliches Präzisions-Mikropositioniersystem mit"Echten 6 Freiheitsgraden".
- Manuelle Lineartische, Messtische mit 6, 15, 18, 25, 50, und 100 mm Stellweg. Auflösung: typisch 1 um.
- Optionale Piezoantriebe mit <10 nm Auflösung für die 6 bis 25 mm Modelle.
- Motorisierte Messtische (Lineartische) mit 5 bis 300 mm Stellweg. Auflösung <100 nm, hervorragende Reproduzierbarkeit und Absolutgenauigkeit durch integrierte direkt messende Linearmaßstäbe.
- Geschwindigkeit von 0,01 mm/s (geringere Minimalgeschwindigkeiten auf Wunsch möglich) bis 100 mm/s.
- Belastbarkeit von 4 kg bis 100 kg.
- Führungsgenauigkeit von 0,2 um bis 2 um.
- Auswahl zwischen Piezomotoren, DC-Servomotorantrieben und Schrittmotorantrieben mit Elektronik und Software.
- Manuelle und motorgetriebene Dreh- und Kipptische. Auflösung <0,001 Grad,
- Geschwindigkeit bis zu 45 Grad/s, Belastbarkeit bis zu 40 kg.
- Optionale Piezoantriebe mit Sub-Bogensekunden Auflösung.
- Alle Linear- und Drehversteller zu Mehrachseneinheiten kombinierbar.
- Ultraschnelle Scantische mit Voice-Coil Antrieben (250 mm/s).
M-850 Hexapod, Sechs-Achsen-Präzisions-Positionier-System
Katalog Nanostelltechnik, Mikrostelltechnik, Piezoaktorik, Präzisionsaktoren
