Piezoaktoren (Piezoaktuatoren)

Übersicht Piezoaktoren, Piezoaktuatoren, Piezotranslatoren, Piezokeramiken

Piezoelektrische Translatoren sind Festkörper Aktuatoren (Keramik), die elektrische Energie direkt in Bewegung (mechanische Energie) umwandeln.

VORTEILE:

• Sub-Nanometer Auflösung.
• Reibungsfrei, kein Stick/Slip Effekt.
• Spielfrei.
• Sehr hohe Steifigkeit (bis zu 2000000 N/mm für 20 um Aktuator).
• Kein Verschleiß.
• Extrem kurze Einschwingzeit (Sub-ms Bereich).

ANWENDUNGSBEISPIELE:
Mikropositionierung, Laser Cavity Tuning, Maskenpositionierung, faseroptische Positionierung,Halbleiterfertigung, adaptive Optik, Präzisionswerkzeugmaschinen/Diamantdrehen, biomedizinische Geräte, aktive Vibrationsdämpfung, Smart Structures, Krafterzeugung.

• Weltweit größtes Angebot von Piezo Aktuatoren (> 10000 verschiedene Piezo-Konfigurationen).
• Alle Fertigungsschritte vom PZT Pulver bis zum Endprodukt von PI qualitätsüberwacht.
• Große Auswahl an PZT Stapeltranslatoren, typischer Stellbereich: 5 bis 200 um
• Disk-Translatoren, Bimorph Biegeaktuatoren und hebelübersetzte Translatoren für Stellwege bis 1 mm.
• Niedervolt (100 V) und Hochvolt (1000 V) Ausführungen.
• Multilayer Technik (co-fired).
• Optionale integrierte Wegsensoren für Closed Loop Betrieb und zur Kompensation von Nichtlinearitäten.
• Ultrahochvakuum-, Tieftemperatur- und Hochtemperatur Optionen.
• Endstücke mit Gewinde, Kugel oder gehärteter Fläche.
• Große Auswahl an Steuerelektroniken (Verstärker, Servo-Controller, Computerschnittstellen) und Software.
• OEM- und Sonderentwicklungen.

TYPISCHE DATEN FÜR STAPEL-TRANSLATOREN:

• Stellweg: 100 um.
• Max. Druckbelastung: 1000 bis 2 000 N.
• Max. Zugbelastung: 100 bis 700 N.
• Auflösung: < 1 nm.
• Einschwingzeit für 10 um Schritt: 0,5 bis 2 ms.
• Resonanzfrequenz: mit 100 g Masse: 1 bis 4 kHz.

LEISTUNGSECKDATEN:

• Stellweg: bis 1 mm (ca. 300 ms Einschwingzeit bei < 20 g Masse).
• Belastung: bis 3000 kg (< 120 um, < 50 Hz Bandbreite).
• Einschwingzeit: bis 10 us (<1 g Masse, < 5 um Schritt).