S-331 快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化

S-331，尺寸单位为毫米

带电缆分线箱的S-331.xSL；尺寸单位为毫米

两个轴的单向线性误差：蓝色实线代表轴1，棕色虚线代表轴2。带E-727.3SD数字压电控制器的S-331.5SH全位移时的线性误差低于0.05%。

带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL的全位移

带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL在全位移时的稳定时间：5毫弧度步进的稳定时间为3毫秒，精度为±1%（全位移）。

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

	S-331.2SL / S-331.2SH	S-331.5SL / S-331.5SH	单位	公差
主动轴	θ_X，θ_Y	θ_X，θ_Y
运动和定位
集成传感器	应变片传感器	应变片传感器
θ_X、θ_Y向上-20至120 伏时的开环偏摆角	4.2	7	毫弧度	最小
θ_X、θ_Y向上的闭环偏摆角	3	5	毫弧度
θ_X、θ_Y向上的开环分辨率	0.05	0.1	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率	0.1	0.25	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的线性误差	0.3 ⁽¹⁾ 0.1 ⁽²⁾	0.3 ⁽¹⁾ 0.1 ⁽²⁾	%	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度，10 %偏摆角	0.3	0.5	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度，100 %偏摆角	3	5	微弧度	典型值
机械特性
θ_X、θ_Y向上的空载谐振频率	12	16	千赫兹	±20 %
θ_X、θ_Y向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径12.7 毫米，厚度3 毫米）	9	10	千赫兹	±20 %
枢轴点至平台表面的距离	4	4	毫米	±1 毫米
平台惯性力矩	30	30	克 × 平方毫米	±20 %
驱动特性
陶瓷类型	PICMA	PICMA
电容	0.96/轴	6.2/轴	微法	±20 %
其他
ID芯片功能	S-331.2SH	S-331.5SH
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料外壳	钢	钢
平台材料	钛金属	钛金属
质量	0.13	0.28	千克	±5 %
电缆长度	2	2	米	+100毫米/-0毫米
传感器/电压连接	SH版本：Sub-D 37针（公头） SL版本：LEMO	SH版本：Sub-D 37针（公头） SL版本：LEMO
推荐电控	E-503，E-727	E-503，E-727