高真空中的样本操纵器

在ANKA同步辐射装置（卡尔斯鲁厄，德国）的NANO光束线中，同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研究薄膜在真空条件下的结构属性，这也是现代材料研究的一部分。

为了在光束线中直接使用，开发了一体化系统，其中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中，然后使其沉积作为衬底上的一层。光束线PLD系统的特点是激光加热（可将衬底加热至1200摄氏度）以及简便加载。一个特殊特征是：由于样本操纵器的尺寸小，即使衬底高度较低，也可实现X-射线的较宽角度范围。

在样本操纵器中，由PI设计的用于高真空的六足位移台可相对于入射X-射线定位样本，即10 毫米 × 10 毫米的衬底，使样本可以0.001度的分辨率绕X和Y轴倾斜±5度。此外，为了补偿层厚度差，它可沿Z 轴（即垂直于样本表面的方向）进行移动，最大移动量为3毫米。同时，系统沿X和Y轴方向的移动量可达 ±6毫米，从而可以扫描到 样本表面的不同位置。六足位移台固定在转台上，需要时可执行进一步的定位任务。