D-050 • D-100 Kapazitive Sensoren

Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich

  • Für Anwendungen mit den höchsten Genauigkeitsanforderungen
  • Messbereich bis 300 µm
  • Auflösung bis 0,01 nm
  • Linearitätsabweichung bis 0,01 % mit Digitalcontroller
  • Regelelektronik E-509.CxA, kompatibel zum E-500 Piezocontrollersystem
D-050 • D-100 Kapazitive Sensoren
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Auflösung

Kapazitive Sensoren erreichen über kleine Wege Auflösungen bis in den Pikometerbereich. Die theoretische Messauflösung ist unbegrenzt. In der Praxis beeinflussen Streustrahlung, Geometrieeffekte und das Rauschen der Messelektronik die erreichbare Genauigkeit. Der effektive Rauschfaktor des D-100.00 Sensors (100 µm) in Verbindung mit der E-509.C1A Elektronik liegt bei 0,02 nm/√Hz. Bei 100 Hz Bandbreite z. B. entspricht das einer Auflösung von 0,2 nm. Die durch Jumper einstellbare Bandbreite der Elektronik beträgt bis zu 3 kHz.

Neben den hier aufgeführten Standardsensoren bietet PI kundenspezifische Sonderausführungen an, z. B. in Messbereich, Geometrie, Material, Elektronik etc.

Einsatzgebiete

Hochpräzise Positionierung.

Spezifikationen

Datenblatt

Datenblatt D-050 • D-100

Version / Datum
2022-08-31
pdf - 517 KB
Version / Datum
2022-08-31
pdf - 519 KB
Version / Datum
2018-06-18
pdf - 860 KB

Downloads

Produktmitteilung

Produktmitteilung

Produktänderung D-015

Version / Datum
2021-12-20
pdf - 111 KB
Englisch

Datenblatt

Datenblatt

Datenblatt D-050 • D-100

Version / Datum
2022-08-31
pdf - 517 KB
Version / Datum
2022-08-31
pdf - 519 KB
Version / Datum
2018-06-18
pdf - 860 KB

Dokumentation

Dokumentation

Benutzerhandbuch PZ106

D-015, D-050, D-100 Kapazitive Sensoren

Version / Datum
2003-11-05
pdf - 228 KB
Englisch

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